La espectroscopia Auger es una técnica sensible para el análisis quimico superficial, ya que todos los elementos, excepto el hidrógeno y el helio, producen picos Auger caracteristicos. La mayoria de los elementos presentan mas de un pico Auger intenso. lo que permite identificar su presencia a través del registro del espectro de energias cineticas de los electrones Auger emitidos desde las capas superficiales de una muestra (1 a 10 nanómetros de profundidad).

El equipo multiprobador Omicron, operando en condiciones de ultra alto vacío (UHV), permite realizar mediciones Auger precisas, gracias a su sistema de bombeo compuesto por tres etapas:

– Bomba mecánica Edward: alcanza presiones del orden de 1×10-3 mbar.
– Bomba turbo molecular Pfeiffer: reduce la presión hasta 1×10-7 mbar.
– Bomba iónica Varían: permite llegar a condiciones de UHV, del orden de 1×10-» mbar.

Para las mediciones Auger, la muestra es bombardeada con electrones de alta energía en el rango de 2 a 5 keV, generados por un filamento de tungsteno. Al aplicar un leve amperaje, el filamento emite electrones que se aceleran mediante una gran diferencia de potencial eléctrico. Al impactar contra la muestra. provocan la emisión de electrones Auger desde diferentes niveles electrónicos (KLL LMM o MNN). cuya energía cinética es posteriormente analizada por un analizador de espejo cilíndrico (CMA). La señal se amplifica /se digitaliza para generar espectros interpretables Además, el equipo incluye un argón de iones de argón, utilizado para limpiar la superficie de la muestra antes de la medición una etapa critica dada la extrema sensibilidad de la técnica a la contaminación superficial.

– Tamaño máximo 10 mm × 10 mm×5mm
– Naturaleza eléctrica deben ser conductoras o semiconductoras.
– Estabilidad mecánica: no deben desprenderse fácilmente a el sustrato.
– Identificación previa: es importante conocer los posibles elementos presentes para una adecuada calibración del rango espectral de trabajo